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函数发生器
型号:Agilent 33220A,33250A


Agilent 33220A,33250A函数发生器,具有出色的函数和波形性能。它可提供11种标准波形以及脉冲和任意波形,是同类产品中频率最稳定、失真最小的函数发生器。

主要技术指标:
仪器特性
● 函数发生器包括USB、GPIB和LAN接口
● GPIB和RS-232接口
● 用于信号设置视觉验证的图形模式
● 提供支持同步信道的多元链路
● 任意波形发生器符合LXI C类标准
波形生成
● 20 MHz正弦波和方波(对于33220A)
● 80 MHz正弦波和方波(对于33250A)
● 斜波、三角波、噪声、带有可变边沿的脉冲生成、直流波形
● 14位、50 MSa/s、64 K点的任意波形(对于33220A)
● 12位、200 MSa/s、64 K点的任意波形(对于33250A)
● 标配提供AM、FM、PM、FSK和PWM调制、线性和对数扫描以及猝发脉冲

直流电源
型号:Agilent E3620A,E3646A

Agilent E3620A,E3646A双路输出电源外形小巧,适合作为台式和系统电源使用。它的输出纹波和噪声较低,并内置测量和基本可编程功能(E3646A)。

主要技术指标:
额定输出(0°C至40°C),2路输出
● 量程1:0至8 V / 3 A
● 量程2:0至20 V / 1.5 A
● 量程: 0至25 V,0至1 A(对于E3620A)
编程精度(25°C ±5°C),±(%输出 + 偏置)(对于E3646A)
● 电压:<0.05% + 10 mV(对于E3646A的输出2:<0.1% + 25 mV)
● 电流:<0.2% + 10 mA
纹波和噪声(20 Hz至20 MHz)
● 正常模式电压:<5 mVpp / 0.5 mVrms
● 正常模式电压:350 µV(对于E3620A)
● 正常模式电流:<4 mArms
● 共模电流:<1.5 uArms
读回精度(25°C ±5°C),±(%输出 + 偏置)
● 电压:<0.05% + 5 mV(对于E3646A的输出2:<0.1% + 25 mV)
● 电压:10 mV (0-20 V), 100 mV, (>20 V) (对于E3620A)
● 电流:<0.15% + 5 mA(对于E3646A的输出2:<0.15% + 10 mA)
● 电流:1 mA(对于E3620A)


示波器
型号:Agilent DSO6052A


Agilent DSO6052A示波器,具备硬件加速的I2C、SPI、CAN、LIN、RS232/UART、FlexRay总线触发、解码;标配接口USB(≥3个),LAN,GPIB;支持的应用有离线分析、分段存储、电源自动化测试软件、FPGA动态探头、矢量信号分析等。

主要技术指标:
500-MHz带宽 2个模拟通道 4GSa/s采样率
· 标配8 Mpts MegaZoom III深存储器
· 连通性标准:LAN、USB、GPIB和XGA视频输出
模拟信号查看
· 更新速率高达100000波形/秒、256级亮度的高分辨率XGA显示器
· 15 ps rms 触发抖动
数字信号触发和分析
· 16个在时间上与示波器通道相关联的数字通道
· 在所有模拟通道和数字通道上均可进行码型和混合信号触发
串行总线触发和硬件加速解码
· I2C, SPI, CAN, LIN 和 USB触发标准和解码选件
· CAN和LIN自动串行触发和解码选件

逻辑分析仪
型号:Agilent 16823A


Agilent 16823A逻辑分析仪提供逻辑分析、码型生成、应用软件和创新探测等功能的强大组合。15英寸彩色显示器,提供清晰准确的数据和波形显示,实现在高速总线上的精确测量。

主要技术指标:
逻辑分析仪配置
· 带有触摸屏的15英寸(38.1 cm)彩色显示器
· 102通道便携式逻辑分析仪,具有高达1 M的采集存储器深度
· 综合的单端信号支持,阈值调整范围从-5 V至5 V(以10 mV为增量)
· 48通道码型发生器,具有高达300 MVector/s的速度和16 M矢量深度
定时分析(异步采样)
· 4 GHz(250 ps)定时缩放,64 K存储器深度
· 使用深存储器的1.0 GHz / 500 MHz(半通道/全通道)传统定时
· 500 MHz转换定时
状态分析(同步采样)
· 状态时钟速率高达450 MHz
· 数据速率:高达500 Mb/s
· 自动设置阈值/样本位置,实现在高速总线上的精确测量
· 同时监测所有通道上的眼图,快速发现故障信号

模拟信号发生器
型号:Agilent E8257D

Agilent E8257D PSG模拟信号发生器提供业内领先的输出功率、电平精度、以及20 GHz相位噪声性能。所具有的高输出功率和优良的电平精度使用户无需安装测试大功率设备的外置放大器,并能将测试的不确定性减至最小,从而及早发现设计过程中的错误。同时,该产品还拥有全球独一无二的相位噪声性能(10 GHz 载波和10 kHz 偏移时,典型值 -116 dBc/Hz),是进行本机振荡器、低抖动时钟替代和相邻信道测试的理想选择。在对先进的射频和微波雷达、通信以及控制系统进行测试时,可出色地满足性能要求。

该平台可为本振(LO)替代或扫描激励响应分析生成连续波(CW)信号。它还可以有选择性地添加AM、FM、ØM和/或脉冲调制,来精确地描述射频和微波元器件及设备。同时,可以通过一些性能增强选件来配置符合特定测试需求的信号发生器,还可以为当前的射频和微波测试应用进行软件定制,轻松实现升级。

主要技术指标:
信号特征
· 250 kHz至20 GHz(0.001 Hz分辨率)
· +23 dBm @ 20 GHz输出功率(典型值)
· 业界最佳SSB相位噪声
调制
· AM、FM、ØM、脉冲和扫描
· 8 ns上升/下降时间和20 ns脉冲宽度(典型值)
· 两个内置函数发生器:正弦波、方波、三角波、斜波和噪声
扫描
· 步进扫描、列表扫描和斜波扫描(频率和功率)
· 使用PSA系列频谱分析仪控制信号源
· 兼容Agilent 8757D标量网络分析仪代码
自动和通信接口
· 10BaseT LAN和GPIB
· SCPI和IVI-COM驱动器

矢量信号发生器
型号:Agilent E4438C


Agilent E4438C ESG矢量信号发生器通过提供优异的基带信号而达到了新的性能水平。它具有宽RF调制带宽、快采样率和大存储器,是评估2.5G、3G和宽带无线通信系统及部件的关键要求。此外,ESG矢量信号发生器还提供达6GHz的频率覆盖,能符合无线局域网的特殊要求。

仪器可提供模拟调制、采用标准和定制制式的数字调制、优异的电平精度和频谱纯度,以及极便于配置的体系结构,因而是一般研制开发、制造和查错应用的理想设备。

主要技术指标:
Signal Characteristics
· 250 kHz to 1, 2, 3,4, or 6 GHz (0.01 Hz resolution)
· +17 dBm output power
· 160 MHz RF modulation bandwidth
Modulation and Sweep
· AM, FM, ØM, and pulse
· ASK, FSK, MSK, PSK, QAM, custom I/Q
· Step, list, and ramp sweep frequency and power
Baseband Generation and Signal Cr
· Internal baseband generator (80 MHz RF BW): arbitrary waveform and real-time I/Q
· 64 MSa playback memory and 1 GSa storage
· Create reference signals: WLAN, WiMAX, W-CDMA, cdma2000, GSM, DVB, multitone, and more
· Digital I/O, fading, and PC waveform streaming Automation and Communication Inte
· 10BaseT LAN and GPIB
· SCPI and IVI-COM drivers
· Backwards compatible with all ESG signal generators
增强选件
● E4438C-1E5:高稳定时基选件
● E4438C-602:64MSa的内部时基发生器选件
● E4438C-UNJ:加强相噪功能选件
● N7601B:C2K/EV-DO的外部信号产生软件主体
● N7601B-EFP:C2K外部信号产生软件许可选件
● N7601B-FFP:EV-DO外部信号产生软件许可选件
● N7601B-1FP:信号产生软件与E4438C信号发生器连接许可
● N7612B:TD-SCDMA的外部信号产生软件主体
● N7612B-1FP:信号产生软件与E4438C信号发生器连接许可
● N7612B-EFP:TD-SCDMA外部信号产生软件许可选件

频谱分析仪
型号:Agilent E4440A

Agilent E4440频谱分析仪可测量高达26.5GHz的RF及微波信号,具备80 MHz分析带宽支持捕获和测量复杂的信号。具有自动量程功能的全数字IF,相噪优化和全套检波器套件。

主要技术指标:
性能
· +/-0.24 dB绝对幅度精度
· -155 dBm/Hz显示的平均噪声电平(DNAL)
· 10 kHz偏置时的相噪:-118 dBc/Hz
· 81 dB W-CDMA ACLR 动态范围
· 26.5GHz前置放大器
· 512MB的用户内存选件
分析带宽
· 80 MHz分析带宽支持捕获和测量复杂的信号。
· -78 dB(额定值)三阶互调
· 0.5 dB IF频率响应
分析软件
· E4440A-211:TDSCDMA射频测试选件
· E4440A-212:TDSCDMA数字调制测试选件
· 89601A:矢量信号分析软件
· 89601A-105:EESof/ADS连接选件
· 89601A-200:矢量信号分析基本分析功能选件
· 89601A-300:频谱仪及示波器等硬件连接选件
· 89601A-AYA:信号解调功能选件
· 89601A-B7X:TDSCDMA的数字信号进行解调分析选件
· 89601A-B7T:C2K/EV-DV的信号进行解调分析选件
· 89601A-B7W:EV-DO的信号进行解调分析选件
· 89601A-106:Matlab软件配合工作选件

示波器
型号:Agilent DSA90604A

Agilent Infiniium DSA90604A 示波器具有出色的信号完整性,20Mpts的MegaZoom超深存储器深度(可以升级至1Gpts),以及强大的信号分析与调试能力。拥有6GHz的模拟带宽(可升级至13GHz),硬件三级序列触发器,能够更深入地分析高速数字和射频设计。

主要技术指标:
• 本底噪声:259μV(5mV/格)
• 存储深度:20Mpts,可升级至1Gpts
• 触发:InfiniiScanPlus触发系统实现三级序列触发
• 6GHz模拟带宽,可升级至13GHz
• 实时采样率(4通道同时):20GSa/s,可升级至40GSa/s
• 数据传输速率:22MSa/s
• 测量更新率:122,000次测量/秒
• 抖动分析功能;
• 高速串行数据分析;
• 降低噪声和带宽控制功能;
• 显示屏:XGA分辨率,12.1英寸全彩色屏幕
配件:
• DSA90000A-009:支持三级序列触发器选件
• 1134A:7GHz的探头放大器座
• E2675A:6GHz的差分点测探头
• E2677A:12GHz的焊入差分探头
• E2678A:12GHz的差分插座式探头
• 1147A:50MHz电流探头

通讯信号分析仪
型号:Agilent 86100C


Agilent 86100C多功能分析仪,可以同时测试高速电信号和光信号。拥有极高的精度、可重复性和非常简单的操作步骤,能够简化对50 MHz到80 GHz信号的测试。包括通用高带宽采样示波器,数字通信分析仪,时域反射计,高精度抖动和幅度干扰分析仪四种功能于一身。

主要技术指标:
数字通信分析仪模式:
· 示波器带宽11GHz,可确保进行最精确的波形测量,码型锁定(PatternLock)触发功能。
· 眼图分析仪可用于>40Gb/s的光发射机和电发射机一致性测试
· 抖动和干扰分析仪,可以测量子元器件抖动和幅度干扰源
· 时域反射计/时域传输(TDR/TDT),用于包括S参数的高精度阻抗分析

主要特性
· 用户可进行配置:主机插槽可支持两个模块(4个光通道或电通道)
· 先进的一键式简单测量
· 触发带宽大于13GHz(选件001)
· 时钟恢复功能具有可调节的环路带宽
· 光信号的波长范围为750-1650nm,支持单、多模光信号的测试
· 支持1.25G, 2.488G, 2.5G, 3.125G, 4.25G, 9.96G, 10.31G, 10.52G, 10.66G, 10.7G, 11.09G, 11.3G光滤波器;
· 光信号的接收机灵敏度 <=-20dBm
· 信号眼图模板和消光比的测量
· 信号抖动的分析和测量
· NRZ和RZ编码的分析
· 垂直分辨率:14位A/D转换器
配件:
· 86105C:9GHz光 / 20GHz电采样模块, 750 to 1650nm - SMF and MMF
· 86105C-140:1.25G光滤波器选件
· 86105C-160:2.488G和2.500G光滤波器选件
· 86105C-180:3.125G光滤波器选件
· 86105C-190:4.25G光滤波器选件
· 86105C-300:9.96G, 10.31G, 10.52G, 10.66G, 10.7G, 11.09G, 11.3G光滤波器选件

网络分析仪
型号:Agilent E8363C


Agilent E8363C PNA微波网络分析仪可进行通用网络分析,并可使用可选的软件和/或硬件定制分析解决方案,以满足您的应用需求(例如多端口、脉冲射频等)。

主要技术指标:
· 频率范围:10MHz-40GHz
· 2个端口,4个接收器
· 触发功能:可以提供硬件触发输出,方便搭建天线测试系统
· 110 dB 的动态范围和 <0.006 dB的迹线噪声
· <26微秒/点的测量速度,32个通道,20001个测量点
· 支持TRL/LRM校准,提供晶圆、夹具、波导和天线测量
· 混频器变频损耗、回波损耗、隔离和绝对群延迟
· 放大器增益压缩、谐波、IMD和脉冲射频
配件:
· E8363C-014:Configurable Test Set Deck
· N4420B:10MHz to 40GHz S-parameter test set
· N4693A:2.4 mm Ecal module 10 MHz to 50 GHz
· N4693A-00F:Both 2.4 mm connectors are female on module
· N1930B:Physical Layer Test System Software
· N1930B-1FP:Base Analysis Fixed License
· N1930B-3FP:Measurement and Cal Fixed License

并行误码率测试仪
型号:Agilent 81250A


Agilent ParBERT 81250是带有通用软件和测量套件的可压扩并行误码率测试平台。是测试高速数字通信端口、元件、芯片和模块的理想解决方案,可适应675Mb/s至45Gb/s重要应用和技术的要求,测试并行边和串行边的电信和数字通信设备。可使用64个并行输入和输出通道,数据率达10.8Gb/s。

提供基于帧的数据包、PRWS、达231-1的用户定义和标准PRBS的数据生成,并行线上具有序列和循环的实时分析能力。以及在每一通道上的对DUT施加应力的全参数能力。能产生和分析单端的低压和差分信号 - 包括真差分信号,进行基于逻辑技术,如LVDS, ECL 和 PECL的器件测试。提供通用软件工具,使用户能进行快速、高效和可靠的测量。

主要技术指标:
· 能够测试器件的浴缸曲线(Bathtub曲线)及抖动分析(RJ/DJ)
· 能够测试信号的输出幅度,高/低电平,Q因子
· 快速眼模板测试:能够自动调整门限,用于光发射机眼模板的生产测试
· 并行测试的能力,支持GEPON OLT突发模式的测试,独立的二路13.5G发射和一路13.5G接收的测试
· 发射信号的输出幅度调整范围和分辨率:0.1-1.8 Vpp/5mv
· 输入信号的接收范围-2.0V to +3.0V
· 时钟范围:50M到13.5GHZ,频率分辨率1Hz,可同时输出至少五路以上的时钟信号
配件:
· E4875A-ATO:ParBERT 81250 User Software主机用户软件
· 81250A-013:IEEE 1394 PC link to VXI (Firewire)接口板块
· 81250A-149:Mainframe并行误码率测试仪主机
· E4809A-ATO:13.5 Gb/s clock module时钟模块
· N4872A-ATO:13.5 Gb/s Generator信号模块
· N4873A-ATO:13.5 Gb/s Analyzer Module分析模块

集成电路自动测试系统
型号:Verigy V50

Verigy V50高速SOC自动测试平台,支持高达256个测试通道。可完成逻辑信号和混合信号的测试任务。支持最多8个器件的并行测试模式。

主要技术指标:
逻辑卡
· 64测试通道,可扩展到256通道
· 最大时钟频率:50MHZ(100MHz@MUX Mode)
· 最小测试周期:20ns
· 时序发生器:4 edges per channel
· 边沿分辨率:0.5 ns
· 比较测试模式:Edge or Window
· 时序组合数:maximum 32 timing sets; can change timing on-the-fly
· 测试向量存储深度:16 M vectors
· 测试命令存储深度:1Mwords
· APG(算法向量发生器):16x16 (address) with 16-bit data width
混合信号板
任意波形发生器
· 输出范围:±10V
· 分辨率:16位
· 采样率:500Ksps
数字化仪
· 输出范围:±5V
· 分辨率:16位
· 采样率:500Ksps
Time Measurement Unit(时序测量单元)
· 输入范围:±10V
· 最大输入频率:30MHZ
· 分辨率:8.06ns

半导体纳米器件参数测试系统
型号:Keithley-4200

Keithley-4200半导体纳米器件参数测试系统用于实验室级的器件直流和脉冲参数测试、实时绘图与分析,适合于半导体器件,微电子器件,光电器件,纳米器件等测试,具有高精度和亚fA级的分辨率能力。

4200系统为器件和测试结构的直流参数和脉冲测试分析提供了一套完整的方案,它是完整的直流加脉冲的“交钥匙的解决方案”。它包括完整的嵌入式PC机,Windows XP操作系统与大容量存储器。其自动记录,点击式接口加速并简化了获取数据的过程,这样用户可以更快地开始分析测试结果。

4200系统的模块化结构配置非常灵活。系统最多可支持八个源—测量单元,包括最多4个具有1A/20W的大功率SMU。远端前置放大器可以有效地减少电缆所贡献的噪声,使得系统的测量能力达到0.1fA。

4200系统内置可变频4200C-V测量仪和全套CV分析软件,除可进行传统的C-V参数测量外,还可以对诸如氧化层厚度,栅面积、串联电阻、平带电容,电压、开启电压、搀杂浓度,少子寿命,可动电荷等工艺参数进行分析。

主要技术指标:
· 最大电压源:200V
· 电压源设定最小分辨率:5μV
· 最大电流源:100mA
· 电流源设定最小分辨率:1.5fA
· 电流测量范围:0.1fA-100mA
· 电流测量最小分辨率:0.1fA
· 测量单元A/D:22bit
· 电流前置放大器选件

微光显微镜
型号:Reltron ICS1000PEM

Reltron ICS1000PEM微光显微镜可用于侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。可侦测对应故障种类涵盖ESD, LATCH-UP, I/O leakage, junction Defect, Hot Electrons, Oxide Current Leakage等造成的异常。

主要技术指标:
铟砷化镓(InGaAs)材质的影像传感器
· 传感器分辨率:320X256像素,逐行扫描
· 信噪比为:69DB
· 像素位深:14bits
· 影像传感器冷却装置:三阶段的珀尔贴热电制冷至零下50摄氏度
· 可接受光波范围:900nm至1700nm,确保1700nm的有效灵敏度
硅材质百万像素影像传感器
· 传感器分辨率1360x1024像素(130万像素),逐行扫描
· 信噪比:大于60DB
· 像素位深:12bits
· 光谱灵敏度:355nm 到1200nm(增强红外线灵敏度)
· 配备FMI(Fluorescent micro thermal imaging)荧光微弱成像技术,其温度变化分辨率达到0.001摄氏度。 能够进行Short hot侦测
显微光学系统
· 4组红外物镜为:0.8倍、5倍、20倍和50倍,目镜为10倍22视场
· 显微镜光源带有5波段设计,能够发出UV光(385nm),可见光(红、绿、蓝),近红外光(1200nm)。 系统附属平台
· 12英寸(300mm)载物平台,具有样品真空吸附功能
· 6个0.35微米精度(200牙/英寸)真空吸附探针座,移动行程x-y-z为12毫米
· 探针最小电流精度100FA,最大电流5安培
· 配备气垫防震桌,空气压力60psi~80psi

冷热冲击试验系统
型号:Thermonics T2800

Thermonics T-2800全功能型强气流精密温控系统(PTFS)无需外部高压空气,内置空压机,使用简单方便。系统可提供从-55℃到+225℃的宽广的温度环境,满足各种不同的器件在特定温度下测试的需求与应用。

T-2800具备温度巡环功能,使设备有能力执行顺序的自动测试。99个温度参数与多种自动控制参数可编程与储存在系统中。

T-2800能透过RS-232C串行口与IEEE-488等通讯协议对系统进行远程联机。系统能透过远程的屏幕与终端机对T2800进行数据观看与控制。这些通讯接口提供了联接,读取与相关操作参数的修改。例如温度设定点,实际量测温度,停留时间,温度变化率等。

主要技术指标:
· 连续变化温度范围:-55℃ ~ +225℃
· 温度调节精确度:±1.0℃
· 重复性准确度:±0.5℃
· 系统温度稳定性:±0.5℃
· 温度变化时间:从-55℃到+125℃不超过30秒
· 高压空气流量:300立方英尺每小时
· 控制:微处理器,PID 控制(Proportional Integral Differential)
· 安全保护:过温温度断开器件,压力控制,流量传感器,热电藕
· 温度浸浴时间:可编程 (0-999秒)
· DUT传感器:K-type或T-type热电藕

X光透视机
型号:YXLON Y.Cougar F/A FEIN Focus

YXLON Y.Cougar提供高性能的X射线解决方案和优化设计,可用于产品研发,样品试制,失效分析,过程监控和大批量的产品检测。广泛应用在电子工业,微系统,装配检测,材料检测和产品检测等各个领域。

YXLON Y.Cougar可用于失效分析,研究开发以及产品的批量X射线检测,并可提供一系列的配置方案,非常适合进行各种二维检测和三维微焦点计算机断层扫描应用。主要可应用于:
· 印刷线路板
· 半导体封装和联接件
· 电子集成件
· 传感器,微电子系统和胶封元件
· 医疗设备
· WLCSP
· 微型机电系统(MEMS, MOEMS)
· 光子集成元件
· 电缆,装具,塑料件和其他更多应用

主要技术指标:
· 几何放大倍数2800倍
· 总放大倍数10000倍
· 检测区域310 mm x 310 mm (12" x 12")
· 最大样品尺寸550 mm x 440 mm (21" x 17")
· 细节辨识能力<500 nm
· 16位实时图像处理系统
· CNC控制X射线装置,机械运动系统和图像处理系统
· BGA和SMT(QFP)自动分析软件,空隙计算软件,通用缺陷自动识别软件(ADR),和AVI视频记录
· 图像增强器垂直运动轴(Z轴),电动驱动
· 盘状样品水平运动机构(X/Y轴)
· 样品旋转和倾斜(360°/60°)装置
· 射线管头垂直运动轴(Z轴)
· 开管射线管,10KV到16KV,0.01MA到1MA,最大管功率:64W,最大靶功率10W
· 激光交叉点协助用户的精密样品操作和定位区域

开盖机DECAP
型号:LEFTCOAST Auto Dual Acid Decapsulator

LEFTCOAST Auto Dual Acid Decapsulator开盖机可用于去除IC封胶,同时保持芯片功能完整无损,保持DIE,BOND PADS,BOND WIRES及至lead-frame不受损伤,为下一步的IC测试分析提供样品制备。适用于普通封装及BGA等其它特殊封装的IC芯片。

LEFTCOAST Auto Dual Acid Decapsulator开盖机采用液晶触控笔控制面板,操作简便。控制器软件系统通过电脑连接可进行升级。机台与装瓶器全部配备密闭性检查传感器,防护盖采用机械式锁死卡具,专门配备了EMO紧急关闭按钮,具有自动故障检测功能,提供了极高的操作安全性。

主要技术指标:
· 酸液使用为:纯硫酸、纯硝酸和混合酸
· 混合酸中硝酸和硫酸的混合比例有9:1,5:1,4:1,3:1,2:1,1:1等可选择
· 酸液的可控制温度范围:20℃~250℃
· 酸液流量可控制范围:1mL~6mL/分钟
· 酸液蚀刻时间控制范围:1~1800秒
· 普通脉冲式和硫酸硝酸交替脉冲式酸液蚀刻方式
· 配备59Hz高频超声波清洗机,容量大于1升,数显控制清洗时间

研磨机
型号:ALLIED HIGHTECH MultiPrep

ALLIED HIGHTECH MultiPrep系统适用于高精微(光镜,SEM,TEM,AFM等)样品的半自动准备加工。主要性能包括平行抛光,精确角抛光,定址抛光或几种方式结合抛光。它保证良好的重现性,可以解决多用户使用的矛盾。MultiPrep无须手持样品,保证只有样品面与研磨剂接触。

TechPrep为MultiPrep的定位装置提供稳定的高品质电源。人性化的控制面板设计,可以操控控制MultiPrep的所有功能。研磨盘转速范围(顺/逆时针)为5到350PRM。除触摸开关控制所有功能外,还有数字触摸键盘用于设置研磨盘速度、计时器、摆动与旋转设置。另外还配备了适用研磨悬浮液和润滑剂的自动滴液给料系统,保证样品制备的品质。

主要技术指标:
· 8英寸铝制研磨盘
· 触控面板控制操作,键盘可用于设置研磨盘速度、计时器、摆动与旋转设置
· 研磨盘可顺/逆时针旋转
· 研磨盘转速5~350转可数控调节,调节精度为1转
· 数字千分表显示样品行程,增量1微米(实时)
· 双轴测微计控制样品角坐标设置(斜度和摆度),10°幅度, 0.02°增量
· 6倍速样品自动摆动
· 8倍速样品自动旋转
· 样品调整范围:0-600克(100克增量)
· 测微计控制样品的设置
· 精确轴设计保证样品垂直于研磨盘,使之同时旋转
· 数字记时器与转速计
· 凸轮锁紧钳无需其他辅助工具,方便用户重新设置工作夹具
· 符合CE标准

RIE离子蚀刻机
型号:TRION TECHNOLOGY SIRUS T2

TRION TECHNOLOGY SIRUS T2反应离子刻蚀机是一套桌面式等离子刻蚀系统,可用于介质以及其他要求氟基化学的薄膜刻蚀。SIRUS T2的内部程序中已经制定了蚀刻硅,二氧化硅,氮化硅,石英,聚酰亚胺, 钽,钨,钛钨和其他材料所需要的基本控制,具有良好的选择性和刻蚀均匀性。

主要技术指标:
· 刻蚀基片规格:>200mm(8英寸)
· 反应电极规格:8英寸
· 反应腔体材料:SUS304不锈钢
· 反应室材料:镍合金
· 自动调谐射频发生器频率:13.56MHZ,功率600瓦
· 反应离子气体刻蚀均匀度:<5%(600W刻蚀)
· 四路单独的气体流量控制器,分别控制氮气、氧气、四氟化碳、六氟化硫
· 配备直掀式真空锁,便于破真空后快速样品取放
· 循环温度控制器
· 自动的压力调节

探针台
型号:PERFICT PL-S12

PERFICT PL-S12探针台配备了12英寸载物台,可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌,具有极高的测试稳定性,同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能,温度可达到300摄氏度,具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA,低电容测试科达0.1pF。

主要技术指标:
● 12寸载物台,载物台和平台平整度<=5micron,具备激光修正能力
● 载物台步进精度:0.1微米,往返精度:0.5um,PLIC软件控制
● 载物台可以360度旋转,带有细微调节机构,精度0.1度,带有锁死功能
● 平台可以电动升降25毫米,升降精度1um,采用PLIC软件控制
● 长工作距离显微镜
● 2X:工作距离34.6mm
● 10X:工作距离34mm
● 20X:工作距离31mm
● NUV物镜:50X(可透过355nm紫外光)
● NUV物镜:100X(可透过355nm紫外光)
● 光学倍率:40X-2000X
● 四个电控探针座,步进精度0.2um,往返精度0.5um,PLIC软件控制
● 配合屏蔽箱漏电流精度可达100FA,低电容测试0.1PF
● 12寸加热台卡盘,最高温度300摄氏度,精度为0.1摄氏度,带有水冷装置
● YAG激光器
● NUV:355nm,可用于Polymide ,Kapton,Silicon,Nitride,SOG,Silicon Dioxide
● GREEN:532nm,可用于Copper,Gold,Poly Silicon,Aluminum,Silicon Dioxide

SEM扫描电子显微镜
型号:VEGA II EPH


VEGA II EPH扫描电子显微镜采用钨灯丝电子扫描方式,放大倍数可达100万倍。采用电磁式电子枪自动对中技术,独创的低真空二次电子探测器(LVSTD),可以提供五种观察影像模式:分辨率模式、景深模式、视野模式、大视野模式,很方便寻找样品位置。

主要技术指标:
● 分辨率:高真空(二次电子3.0nm at 30kv,8.0nm at 3kv)
● 放大倍数:4 to 1000000×
● 真空系统:高真空<0.009Pa,低真空3~500Pa
● 加速电压:0.2kV to 30Kv
● 电子束电流:1pA – 2uA
● 样品室内部尺寸:230mm
● 样品台行程:5轴马达控制
● 电制冷能谱仪
● 探头:Xflash 410M SDD Detector
● 分辨率:≤133 eV (MnKa, 100 000 cps)
● 元素探测范围:B(5) – U(92)

OM光学显微镜
型号:OLYMPUS OM-2

OLYMPUS OM-2光学显微镜配备了5种(5X,10X,20X,50X,100X)长工作距离物镜,光学解析可达到0.13UM。配备了明场暗场和微分干涉功能。采用580万像素科学级CCD,可达到2776×2074的图像分辨率。

主要技术指标:
● 光学倍率可以解析0.13UM工艺以上的模拟电路部分
● 5X物镜,数值孔径0.15,工作距离20.0mm
● 10X物镜,数值孔径0.30,工作距离11.0mm
● 20X物镜,数值孔径0.45,工作距离3.1mm
● 50X物镜,数值孔径0.80,工作距离1.0mm
● 100X物镜,数值孔径0.90,工作距离1.0mm
● 带明场暗场功能
● 配置微分干涉(DIC)
● 5孔鼻轮
● 12英寸载物台,能够放置并检测12英寸晶圆
● X-Y行程:150mm,步进精度0.04um,往返精度1um
● 图像采集科学级CCD,1/2英寸,580万像素,解析度2776×2074,1392×040,640×480
● 预览速度:每秒15帧

超声波扫描系统
型号:KSI SAM-300

KSI SAM-300超声波扫描系统用于检测半导体以及其它电子元器件,如DIP, PLCC, SOIC, PBGA, QFP, TQFP, BGA, TSOP, MicroBGA, SCSP, FlicpChip, 电容等器件内部的分层,空洞以及裂缝。

主要技术指标:
● 扫描方式:反射式扫描,透射式扫描,三维立体成像
● 纵向扫描方式的层数:³200
● 断层扫描(可一次扫描多层图片)
● 横切断层同步扫描,A扫描/纵向扫描/断层扫描可同步进行
配件:
● 15兆赫探头;³12mm焦距。适用于低频较厚的塑封料,如PLCC,QFP,PDIP等,可用于透射
● 75兆赫探头;³6mm焦距。适用于高频的塑封料,如SCSP,BGA,TQFP,Micro BGA和电容等,可用于透射
● 110兆赫探头;³5.0mm焦距。适用于多层的塑封料及如倒装料,如SCSP和Flipchip
● 230兆赫探头;³3mm焦距。适用于薄的倒装料,Flipchip等
● 数字脉冲信号发生接收器
● 500兆赫脉冲信号发生接收器


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